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特許情報のご紹介(その他)

電磁駆動型ポリマーMEMSミラー

管理番号 2012-020

技術の名称

電磁駆動型ポリマーMEMSミラー

キーワード

番号 特願2008-265832 HP掲載日 2013-03-12

技術の概要

高価な材料や複雑な製作工程が不要となる“電磁駆動型ポリマーMEMSミラー”に関する技術です。大幅な低コスト化を可能とする光偏向ミラー、光偏向ミラーの製作方法および光偏向器を提案致します。

 

活用のセールスポイント

・    シリコンよりも安価で低剛性材料であるポリマーを用いてデバイスを製作
・    フォトリソグラフィ技術によるパターニングのみを用いた単純な製作工程
・    基盤には、Siではなくガラスを用いて簡易な工程で製造可能
・    電磁石によりミラーを吸引し駆動させる簡易な駆動方式

 

説明図等

【構成・駆動原理】
光偏向デバイスのミラーデバイス全体を、磁性粒子を含むポリマーとミラーで構成し、電磁石によりミラーを吸引し駆動させます。

 

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